精密劃片機晶圓切割機YRQWD801M
一.機型特點：
1.結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、噪音小；
2.工業(yè)化一體機，觸摸屏操作，操作方便；
3.Y 向采用光柵尺閉環(huán)控制，定位精度高；
4.配備環(huán)形光源和同軸光源、可觀測不同材質(zhì)的工件；
5.安全保護功能齊全；
6.使用進口主軸，提高加工品質(zhì)；
7.具備在線測高功能（NCS）提升設(shè)備自動化程度；
8.具備在線刀片磨刀功能，保證產(chǎn)品切割品質(zhì)；
9.具備實時損檢測功能（BBD），保證產(chǎn)品切割品質(zhì)。
二.設(shè)備介紹：
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該設(shè)備適合加工的產(chǎn)品有硅晶圓、塑封件（QFN、BGA 等）、PCB 板、陶瓷基板（氧化鋁、氧化鋯等）、氧化物陶瓷（熱敏、壓敏、光敏電阻）、玻璃、石英、鈮酸鋰、鉭酸鋰、磁性材料等。
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主要應(yīng)用領(lǐng)域：電子元器件、集成電路（IC）、發(fā)光二級管（LED）、太陽能電池、光學器件、光纖器件、電子陶瓷等行業(yè)的精密切割。
三.技術(shù)參數(shù)：
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序號
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項目
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指標參數(shù)
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1
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加工尺寸
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Φ210mm/Φ150mm（8 寸/6 寸）
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2
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進口主軸
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轉(zhuǎn)速：10000-60000rpm
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功率：1.8KW
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3
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X 軸
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劃切行程：Max220mm
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驅(qū)動方式：伺服電機
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分辨率：0.001mm
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劃切速度：0.1-1000mm/s
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4
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Y 軸
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劃切行程：Max220mm
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驅(qū)動方式：伺服電機+光柵尺全閉環(huán)
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重復(fù)定位精度: 0.002/5mm
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分辨率：0.0005mm
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累積誤差：0.005/220mm
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劃切速度：0.1-300mm/s
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5
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Z 軸
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有效行程/刀盤尺寸：Max14.7mm/φ58mm （切深≦4mm）
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驅(qū)動方式：伺服電機
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分辨率：0.001mm
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重復(fù)定位精度：0.001mm
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刀盤尺寸：Φ47.4mm~φ54mm
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刀片尺寸：Maxφ58mm
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最大速度：90mm/s
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6
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θ軸
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轉(zhuǎn)角范圍：Max380°
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驅(qū)動方式：DD 直驅(qū)電機
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重復(fù)定位精度： 3″
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分辨率：0.0002°
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7
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對準系統(tǒng)
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照明光源：同軸+環(huán)形
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放大倍率：7.5X
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可觀測圖像大小：0.0005mm
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8
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設(shè)備重量
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500 kg±5%
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9
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設(shè)備尺寸
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約 1030mm*900mm*1750mm
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10
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設(shè)備功率
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4KW
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四.基本配置：
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序號
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貨物名稱
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品牌
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數(shù)量
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1
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X 軸導(dǎo)軌
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THK(日本)
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1 對
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2
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Y 軸導(dǎo)軌
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THK(日本)
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1 對
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3
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Z 軸導(dǎo)軌
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THK(日本)
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1 對
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4
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X 軸絲杠
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NSK(日本)
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1 根
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5
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Y 軸絲杠
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NSK (日本)
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1 根
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6
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Z 軸絲杠
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NSK (日本)
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1 根
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7
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DD 馬達
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NSK (日本)
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1 套
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8
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X 軸電機
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松下（日本）
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1 套
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9
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Y 軸電機
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松下（日本）
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1 套
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10
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Z 軸電機
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東方（日本）
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1 套
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11
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光柵尺
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雷尼紹（英國）
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1 套
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12
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氣動元件
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亞泰克（臺灣）
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1 套
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13
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高精度數(shù)字式壓力開關(guān)
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亞泰克（臺灣）
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1 套
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14
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主軸
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RPS（韓國）
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1 套
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五.功能配置：
1.測高回路檢測報警功能；
2.斷點續(xù)劃功能；
3.修刀盤功能；
4.預(yù)劃切功能；
5.自動對焦功能；
6.非接觸測高功能（NCS）；
7.在線磨刀功能；
8.刀損檢測功能；
9.可完成矩形和圓形工件切割方式；
10.自動切割模式和半自動切割模式；
11.單向切割模式和雙向切割模式；
12.工作過程中可任意時機暫停檢查；
13.中文操作界面，可存儲多個加工文件；
14.全程實時微量誤差補償；
15.氣壓、水壓不足報警保護；
16.可完成復(fù)雜工件的工藝編程加工；
17.具備自動圖像識別功能。
六.隨機配件：
1.裝刀工具、隨機工具各 1 套；
2.刀盤 2 個； （軟刀，硬刀盤各 1 個）
3.吸盤 2 塊；（6/8 英寸標準陶瓷吸盤各 1 塊）
4.貼片環(huán) 3 個；
5.鼠標鍵盤 1 套（調(diào)試用）。
七.使用環(huán)境：
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環(huán)境溫度
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機器應(yīng)安裝在 25°攝氏度的環(huán)境中。最好是恒溫無塵車間。
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電源
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220V 單相 4KW
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壓縮空氣
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使用過濾度在 0.01um/99.5%以上的壓縮空氣。冷干機除濕，空氣壓力
0.6MPa-0.8MPa，主軸耗氣量 80L/min,整機耗氣量 190L/min。
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切割水
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切割水的水溫控制在室溫±2°C，壓力 0.2-0.4MPa，可采用自來水，廢水
處理后直接排放。耗水量 2L/min。
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冷卻水
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冷卻水（主軸冷卻）采用純水機循環(huán)供水，水溫控制在室溫±2°C，壓力
0.2-0.4MPa。
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周圍環(huán)境
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設(shè)備避免安裝在鼓風機、通風口、產(chǎn)生高溫和油霧的設(shè)備旁邊。
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上一條 下一條
